[发明专利]稀土铜缓蚀剂及其表面处理工艺

摘要

本发明公开了一种稀土铜缓蚀剂及其表面处理工艺，缓蚀剂包括混合稀土盐、磺基水杨酸、苯并三氮唑、柠檬酸和水，上述配方中的混合稀土盐为下列化学药品的混合物：La₂O₃、Y₂O₃、Eu₂O₃、Ce₂O₃。所述的铜缓蚀剂的几种主要成分均为绿色水处理药剂，对环境无危害，缓蚀效率高，是一种符合可持续发展需要的缓蚀剂，所述缓蚀剂原料易得，成本较低，表面处理工艺操作简单，溶液成分稳定且维护调整方便。

主权项

1.一种稀土铜缓蚀剂，其特征是：每升该溶液中含有混合稀土盐为0.2-1.0克，磺基水杨酸为6-10克，苯并三氮唑(BTA)为1-8克，柠檬酸为10-20克，上述配方中的混合稀土盐为下列化学药品的混合物：La2O3、Y2O3、Eu2O3、Ce2O3，其中混合稀土盐中各稀土元素百分含量比为La％∶Y％∶Eu％∶Ce％＝1∶1∶1∶1或1∶1∶1∶2或1∶1∶2∶1或1∶1∶3∶1。将配制好的稀土盐溶液与基础溶液混合并稀释至要求浓度，在室温下静置6小时以上，然后再过滤，便完成了整个缓蚀剂溶液的配制过程，配制好的溶液的pH值为4-7。