[发明专利]光学式测量装置有效
| 申请号： | 200710138135.4 | 申请日： | 2007-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN101113891A | 公开（公告）日： | 2008-01-30 |
| 发明（设计）人： | 越智研司;菊池直也;高桥伸二 | 申请（专利权）人： | 三丰株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 邵亚丽 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的光学式测量装置包括：具有基准线的屏幕；可移动的载物台；使被放置在该载物台上的测量对象物的光学图像成像在前述屏幕上的光学系统；以及在前述屏幕上的任意位置中检测前述光学图像的测量边缘部的通过的边缘检测传感器(112)，该光学式测量装置还包括：偏移值存储单元(143)，将从前述基准线到前述边缘检测传感器(112)的距离作为偏移值进行存储；以及校正数据计算单元(144)，对于利用前述基准线和前述边缘检测传感器(112)测量的测量数据，利用前述偏移值进行校正。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光学式测量装置，包括：具有基准线的屏幕；可移动的载物台；使被放置在该载物台上的测量对象物的光学图像成像在所述屏幕上的光学系统；以及在所述屏幕上的任意位置中检测所述光学图像的测量边缘部的通过的边缘检测传感器，该光学式测量装置还包括：偏移值存储单元，将从所述基准线到所述边缘检测传感器的距离作为偏移值进行存储；以及校正数据计算单元，对于利用所述基准线和所述边缘检测传感器测量的测量数据，利用所述偏移值进行校正。
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