[发明专利]硬质皮膜及硬质皮膜被覆材

摘要

本发明提供一种硬质皮膜及硬质皮膜被覆材，其与现有的表面被覆层相比，耐磨损性好，并且摩擦系数低且滑动性好。由M(B_aC_bN_1－a－b)构成的皮膜层A，满足下式(1A)～(2A)，由Ti_1－x－yCr_xAl_ySi_z(C_1－AN_A)所构成的皮膜层B，满足下式(1B)～(5B)，其各自层厚分别为5～100nm，层叠而成的硬质皮膜等(其中，上述M为W、V、Mo、Nb中的1种以上，在下式中，a表示B的原子比，b表示C的原子比，x表示Cr的原子比，y表示Al的原子比，z表示Si的原子比，A表示N的原子比。)。0≤a≤0.3式(1A)；0≤b≤0.5式(2A)；0≤1－x－y≤0.5式(1B)；0≤x≤0.5式(2B)；0.4≤y≤0.7式(3B)；0≤z≤0.15式(4B)；0.5≤A≤1式(5B)。

主权项

1.一种硬质皮膜，其由下述的皮膜层A和皮膜层B层叠而成，所述皮膜层A和皮膜层B的合计层数在2层以上，其特征在于，所述皮膜层A的膜厚为5～100nm，并且，所述皮膜层B的膜厚为5～100nm，皮膜层A：是由M(BaCbN1-a-b)构成的皮膜层，满足下式(1A)～(2A)，0≤a≤0.3 ………………………………………………式(1A)0≤b≤0.5 ………………………………………………式(2A)其中，在上述M(BaCbN1-a-b)中，M为W、V、Mo、Nb中的1种以上，在上式(1A)～(2A)中，a表示B的原子比，b表示C的原子比；皮膜层B：是由Ti1-x-yCrxAlySiz(C1-ANA)构成的皮膜层，满足下式(1B)～(5B)，0≤1-x-y≤0.5 ………………………………………………式(1B)0≤x≤0.5 ……………………………………………………式(2B)0.4≤y≤0.7 …………………………………………………式(3B)0≤z≤0.15 …………………………………………………式(4B)0.5≤A≤1 ……………………………………………………式(5B)其中，在上式(1B)～(5B)中，x表示Cr的原子比，y表示Al的原子比，z表示Si的原子比，A表示N的原子比。