[发明专利]基于激光辅助加热的微器件弯曲成形方法及装置

摘要

基于激光辅助加热的微器件弯曲成形方法及装置，涉及微器件制造及微塑性成形技术，适合于常规微弯曲方法难以成形或无法成形的材料成形，装置包括安装平台、凸模和凹模对中组件、微弯曲成形组件、进给机构、加载机构、工件定位组件、激光加热系统和控制系统，激光器发出的激光束通过外光路系统对微小工件两侧同时进行非接触式准静态加热，利用激光的热传导，使坯料达到成形的温度范围；激光加热系统与微弯曲成形组件相结合，利用步进电机驱动实现凸模进给和回程，利用压电陶瓷微驱动器实现凸模对工件加载，完成微器件的弯曲成形。本发明利降低了温度梯度对成形精度的影响。该装置设计合理，工艺简单，可控制性好，适用于工业化生产。

主权项

1.一种基于激光辅助加热的微器件弯曲成形方法，其特征在于：以激光器发出的激光束通过光路系统对微小工件两侧同时进行非接触式准静态加热，利用激光的热作用和热传导使工件达到适合材料微弯曲成形的温度范围；同时，激光加热系统与微弯曲成形组件相结合，利用步进电机驱动实现凸模进给和回程，利用压电陶瓷作为微驱动器实现凸模对工件加载，完成微器件的弯曲成形，其中控制系统实现了对凸模和凹模对中、工件定位、凸模进给和加载以及回程的闭环控制。