[发明专利]反射式空间光调节器

摘要

一种包括微镜阵列的反射式空间光调节器的制造。在一个实施例中，微镜阵列是通过仅使用两个主要蚀刻步骤由单晶材料的衬底制造而成的。第一步蚀刻在材料的第一侧中形成空穴。第二步蚀刻形成支持柱、垂直铰链和镜板。在第一和第二步蚀刻之间，可以将衬底压焊到寻址和控制电路上。

主权项

1.一种微反射镜，包括：镜板，所述镜板具有反射性表面，用于反射入射光；隔离支持框架，所述微反射镜位于所述隔离支持框架限定的区域内，且所述隔离支持框架的高度大于所述镜板的厚度；铰链，所述铰链连接到所述隔离支持框架；连接器，所述连接器将所述镜板连接到所述铰链，并且，在所述微反射镜与跟所述微反射镜相应的外部电极之间施加电压时，所述镜板能够沿着所述铰链限定的轴线旋转，所述微反射镜的特征在于，所述镜板、所述隔离支持框架和所述铰链由第一衬底制成，所述第一衬底由单块连续材料构成，所述铰链、连接器和镜板的尺寸在十微米量级或更小，所述微反射镜采用能够生成不大于0.18微米特征尺寸的制造处理来制造。