[发明专利]光学变焦组件中光学元件的离轴平移校正无效
| 申请号: | 200710128032.X | 申请日: | 2007-06-22 |
| 公开(公告)号: | CN101105641A | 公开(公告)日: | 2008-01-16 |
| 发明(设计)人: | K·J·瓦奥莱特 | 申请(专利权)人: | ASML控股有限公司 |
| 主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 王波波 |
| 地址: | 荷兰费*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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| 摘要: | 激光束用于为变焦操作期间将要进行定位的变焦组件中透镜运动的轴内方向提供行程的虚基准轴。虚基准轴沿着光轴投射,其平行于现有的机械透镜滑座。虚基准轴通过每一个透镜组件上的孔径,并且通过每一个透镜组件上的一组光学部件和检测器对其进行采样。光学部件和检测器被布置,以使利用到位置控制电动机的反馈信号来感测和校正透镜组件内镜框相对于虚基准轴的位置的任何变化。因为相同虚基准轴用于变焦组件中的每个透镜,所以每个透镜可以独立地进行离轴位置误差校正达到非常高的精度。 | ||
| 搜索关键词: | 光学 变焦 组件 元件 平移 校正 | ||
【主权项】:
1.一种用于校正在对准轴上对准的元件的离轴平移的系统,包含:激光器,其被配置成可生成平行于所述对准轴的虚基准轴射束;射束采样装置,其位于所述元件上并且被配置成可指示所述元件相对于所述虚基准轴射束的位置;检测器,其与所述射束采样装置连通并且被配置成可检测如由所述射束采样装置指示的、所述元件相对于所述虚基准轴射束的位置变化;以及定位装置,其被配置成可基于所述检测器检测的位置变化使所述元件与所述虚基准轴射束对准。
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