[发明专利]光学变焦组件中光学元件的离轴平移校正无效

专利信息
申请号: 200710128032.X 申请日: 2007-06-22
公开(公告)号: CN101105641A 公开(公告)日: 2008-01-16
发明(设计)人: K·J·瓦奥莱特 申请(专利权)人: ASML控股有限公司
主分类号: G03F9/00 分类号: G03F9/00;G03F7/20;H01L21/027
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 王波波
地址: 荷兰费*** 国省代码: 荷兰;NL
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 激光束用于为变焦操作期间将要进行定位的变焦组件中透镜运动的轴内方向提供行程的虚基准轴。虚基准轴沿着光轴投射,其平行于现有的机械透镜滑座。虚基准轴通过每一个透镜组件上的孔径,并且通过每一个透镜组件上的一组光学部件和检测器对其进行采样。光学部件和检测器被布置,以使利用到位置控制电动机的反馈信号来感测和校正透镜组件内镜框相对于虚基准轴的位置的任何变化。因为相同虚基准轴用于变焦组件中的每个透镜,所以每个透镜可以独立地进行离轴位置误差校正达到非常高的精度。
搜索关键词: 光学 变焦 组件 元件 平移 校正
【主权项】:
1.一种用于校正在对准轴上对准的元件的离轴平移的系统,包含:激光器,其被配置成可生成平行于所述对准轴的虚基准轴射束;射束采样装置,其位于所述元件上并且被配置成可指示所述元件相对于所述虚基准轴射束的位置;检测器,其与所述射束采样装置连通并且被配置成可检测如由所述射束采样装置指示的、所述元件相对于所述虚基准轴射束的位置变化;以及定位装置,其被配置成可基于所述检测器检测的位置变化使所述元件与所述虚基准轴射束对准。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML控股有限公司,未经ASML控股有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200710128032.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top