[发明专利]清洗铝合金零件的方法无效
| 申请号： | 200710120619.6 | 申请日： | 2007-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN101372748A | 公开（公告）日： | 2009-02-25 |
| 发明（设计）人： | 陶林 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | C23G5/00 | 分类号： | C23G5/00;B08B3/12;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵镇勇 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种清洗铝合金零件的方法，首先用超纯水喷淋铝合金零件的表面；然后用金属抛光专用研磨液研磨，并用无尘纸蘸IPA擦拭；再用超声清洗；最后用氮气吹干，并进行洁净烘干。可有效去除裸铝表面的水痕，同时避免零件在清洗中再产生水痕，操作简便、清洗效果明显。主要适用于半导体加工设备中铝合金零部件的清洗，也适用于对其它铝合金器件的清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 铝合金 零件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种清洗铝合金零件的方法，其特征在于，包括步骤：A、用金属抛光研磨液研磨铝合金零件表面；B、用无尘纸蘸有机溶剂擦拭铝合金零件表面；C、采用超声清洗铝合金零件表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710120619.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
