[发明专利]一种外延尾气处理器快速维护的方法及装置

摘要

一种外延尾气处理器快速维护的方法及装置，方法是使用氮气吹扫装置将絮状硅化物吹落；打开自来水的阀门，增加水槽内的水位，使得液位浸没超声发生器后关闭自来水阀门；启动超声发生器，在超声波的作用下，絮状硅化物被粉碎成小的颗粒；经过超声波有效的破碎后，开启水泵的阀门，同时启动水泵，由于水泵的水管插入到水槽的最低短，在水泵的抽力下，水槽内的硅化物和水被一起排出，反复的向水槽内加水、抽水，使得硅化物被有效排除。本发明优点是：在超声波的作用下，絮状硅化物被破碎成细小的颗粒而易于排掉，避免了原来拆开管路和盲板的麻烦，并避免了接口处卡箍的安装和拆卸以及由于卡箍反复装拆可能导致的管路漏气。缩短外延维护时间，延长尾气处理器的维护周期，进而整体上提高外延工艺的生产效率。

主权项

1、一种外延尾气处理器快速维护的方法，它为水洗法，其特征在于：使用氮气吹扫装置将絮状硅化物吹落；打开自来水的阀门，增加水槽内的水位，使得液位浸没超声发生器后关闭自来水阀门；启动超声发生器，在超声波的作用下，絮状硅化物被粉碎成小的颗粒；经过超声波有效的破碎后，开启水泵的阀门，同时启动水泵，由于水泵的水管插入到水槽的最低短，在水泵的抽力下，水槽内的硅化物和水被一起排出，反复的向水槽内加水、抽水，使得硅化物被有效排除。