[发明专利]一种具有冗余支链的二平动微动平台

摘要

本发明提供一种具有冗余支链的二平动微动平台，包括运动平台、固定平台、微位移驱动装置和连接于两平台之间的两组支链，其特征在于：两个微位移驱动装置均安装在固定平台上，每组支链中均包括两条支链，每个微位移驱动装置的驱动端依次经第一组中每条支链的弹性移动副、第一对弹性转动副、连杆、第二对弹性转动副与运动平台连接；运动平台还分别依次经第二组中每条支链的第一弹性转动副、第一连杆、第二弹性转动副、第二连杆、第三弹性转动副与固定平台连接；所有弹性转动副的转动轴线互相平行。本发明引入冗余支链，具有更高的承载能力和更大的刚度，且灵敏度高，性能优良。

主权项

1.一种具有冗余支链的二平动微动平台，包括固定平台(1)、运动平台(8)、微位移驱动装置(2)和连接于固定平台(1)与运动平台(8)之间的两组支链，其特征在于：微位移驱动装置(2)为安装在固定平台(1)上的两个，每组支链中均包括两条支链，其中第一组中的每条支链均包含一个弹性移动副(4)和两个连杆(6)，两个连杆(6)的轴线互相平行，并且两个连杆(6)的一端分别通过第二弹性转动副(7)与运动平台(8)连接，其另一端分别通过第一弹性转动副(5)连接弹性移动副(4)的一侧，弹性移动副(4)的另一侧与微位移驱动装置(2)的驱动端连接；第二组中的每条支链均包含第一连杆(10)和第二连杆(12)，第一连杆(10)与第二连杆(12)之间通过第二弹性转动副(11)连接，第一连杆(10)的另一端通过第一弹性转动副(9)与运动平台(8)连接，第二连杆(12)的另一端通过第三弹性转动副(3)与固定平台(1)连接；弹性转动副(3)、(5)、(7)、(9)、(11)的转动轴线互相平行。