[发明专利]利用电子散斑干涉载频调制技术测量物体形貌的方法无效
申请号: | 200710112994.6 | 申请日: | 2007-09-28 |
公开(公告)号: | CN101126632A | 公开(公告)日: | 2008-02-20 |
发明(设计)人: | 孙平 | 申请(专利权)人: | 山东师范大学 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G01B9/023 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 250014山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明提供了一种利用电子散斑干涉载频调制技术测量物体形貌的方法,是将被测物体固定在一参考平面上,参考平面大于被测物体,参考平面外围与被测物体之间留有空隙,将被测物体连同参考平面一起偏转小于5度的微小角度,利用光的干涉,在被测物体表面和被测物体与参考平面外围的空隙处产生干涉载波条纹,用摄像机采集这一干涉载波条纹,即获得一幅载波条纹图,利用这一幅载波条纹图中被测物体与参考平面外围的空隙处的干涉载波条纹计算载波空间频率的大小,通过傅里叶变换,解调出物体表面的形貌信息。本发明不需要投影栅线,只需采集一幅载波条纹图即可计算出物体表面形貌信息。由于是基于光的干涉,因此该方法测量灵敏度也高。 | ||
搜索关键词: | 利用 电子 干涉 载频 调制 技术 测量 物体 形貌 方法 | ||
【主权项】:
1.一种利用电子散斑干涉载频调制技术测量物体形貌的方法,其特征在于:该方法是将被测物体固定在一参考平面上,参考平面大于被测物体,参考平面外围与被测物体之间留有空隙,将被测物体连同参考平面一起偏转小于5度的微小角度,利用光的干涉,在被测物体表面和被测物体与参考平面外围的空隙处产生干涉载波条纹,用摄像机采集这一干涉载波条纹,即获得一幅载波条纹图,利用这一幅载波条纹图中被测物体与参考平面外围的空隙处的干涉载波条纹计算载波空间频率的大小,通过傅里叶变换,解调出物体表面的形貌信息。
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