[发明专利]偏光变换元件、光学照明装置、曝光装置以及曝光方法有效
| 申请号： | 200710110949.7 | 申请日： | 2005-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN101078812A | 公开（公告）日： | 2007-11-28 |
| 发明（设计）人： | 谷津修;重松幸二;广田弘之;松山知行 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B27/28 | 分类号： | G02B27/28;G03F7/20;G02B5/30 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本东京千代*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种偏光变换元件，可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，且可以防止光量损失。偏光变换元件(10)变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成，在周方向有厚度变化的分布。厚度分布，被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域(10A～10D)，且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又，这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。 | ||
| 搜索关键词： | 偏光 变换 元件 光学 照明 装置 曝光 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光学照明装置，是对被照射面进行照明的光学照明装置，包括：光束变换元件，配置在照明光的光路中，将入射光的断面方向中的光强度分布，变换成不同的光强度分布；偏光变换元件，配置在经过该光束变换元件的照明光的光路上，将入射光的偏光状态变换成所定的偏光状态；光学积分器，配置在变换成该所定的偏光状态的照明光的光路上；其特征在于：该偏光变换元件在周方向上具有被分割的多个区域，使将有约单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，或是有约在径向方向的偏光方向的径方向偏光状态的光。
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