[发明专利]位置测量装置有效
| 申请号： | 200710102328.4 | 申请日： | 2007-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN101067560A | 公开（公告）日： | 2007-11-07 |
| 发明（设计）人： | U·本纳 | 申请（专利权）人： | 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/34 | 分类号： | G01D5/34;G01R31/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曹若;刘华联 |
| 地址： | 德国特劳*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于检测扫描单元与相对于该扫描单元在至少一个测量方向上移动的反射整体量具的相对位置的位置测量装置。扫描单元包括光源以及检测平面中的检测器装置。此外在扫描单元的第一方案中，在扫描光路中布置至少一个光学反射器元件，该反射器元件有作用于所述扫描光路的光学作用，使得在虚拟光源和反射整体量具之间的间距与在反射整体量具和检测器装置/检测平面之间的间距相同。在第二方案中，此外在扫描单元中还在扫描光路中布置至少一个光学透射元件，该透射元件具有作用于扫描光路的光学作用，使得在光源和反射整体量具之间的间距与在反射整体量具和虚拟检测平面中的检测器装置之间的间距相同。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.用于检测扫描单元与相对于该扫描单元在至少一个测量方向上移动的反射整体量具之间的相对位置的位置测量装置，其中所述扫描单元包括光源以及在检测平面中的检测器装置，其特征在于，此外在所述扫描单元(20；200)中在扫描光路中布置至少一个反射器元件(25；25’；250；RE)，该反射器元件具有作用于所述扫描光路的光学作用，使得一方面在虚拟光源和所述反射整体量具(10；100)之间的间距(u)与另一方面在所述反射整体量具(10；100)和所述检测平面(D)之间的间距(v)相同，由此将所述光源(24；240)虚拟地布置在所述检测平面(D)中。
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