[发明专利]具有削尖的波导Y分支角的器件无效
| 申请号： | 200710096034.5 | 申请日： | 2002-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN101034187A | 公开（公告）日： | 2007-09-12 |
| 发明（设计）人： | X·王;F·莱昂 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | G02B6/125 | 分类号： | G02B6/125;G02B6/136 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种器件，其包括衬底；在衬底上形成的第一材料层；形成于第一材料层内的沟槽，所述沟槽具有第一半径的角；多个形成于第一材料层中、用于形成衍射光栅的柱状物，所述多个柱状物具有基本等于第一半径的第二半径；所述多个柱状物适于借助所述角的蚀刻工艺被蚀刻，所述多个柱状物被形成为在所述角和所述多个柱的蚀刻工艺中衍射光。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 削尖 波导 分支 器件 | ||
【主权项】：
1.一种器件，包括：衬底；在衬底上形成的第一材料层；形成于第一材料层内的沟槽，所述沟槽具有第一半径的角；多个形成于第一材料层中、用于形成衍射光栅的柱状物，所述多个柱状物具有基本等于第一半径的第二半径；所述多个柱状物适于借助所述角的蚀刻工艺被蚀刻，所述多个柱状物被形成为在所述角和所述多个柱的蚀刻工艺中衍射光。
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