[发明专利]激光吸收光谱痕量气体分析方法及采用该方法的装置

摘要

本发明涉及一种在线自校准的激光吸收光谱痕量气体分析方法及采用该方法的激光吸收光谱气体痕量分析装置。所述方法是通过在测量光路中设置一校准气室，在校准气室内加入与待测气体同种的标准气体，在不考虑气体温度和压力的情况下，通过检测测量光路和校准光路中的原始光强和谱线强度即可以计算出待测气体的浓度。该方法测量待测气体浓度其测量简单、准确，其测量装置的结构也大大简化，可以实现实时自校准。

主权项

1. 一种激光吸收光谱痕量气体分析方法，其特征在于：1)在待测气体测量气室内设置一校准气室，在校准气室内加入与待测气体同种的、已知浓度为(ρref)的气体，并保持校准气室压力等于测量气室的压力；2)用同一激光发射器发射的激光分别照射测量气室和校准气室，分别获得测量光路光谱和校准光路光谱；3)在校准光路光谱中确定一条基准谱线，测得其原始光强(I0，ref)和谱线强度(Iref)，然后在测量光路光谱中找到相应位置的谱线，测得其原始光强(I0，test)和谱线强度(Itest)；4)分别测量校准光路和测量光路的工作光程(Lref)和(Ltest)；5)根据公式计算出待测气体的浓度(ρtest)。