[发明专利]基板处理装置以及基板处理方法有效
| 申请号： | 200710091931.7 | 申请日： | 2007-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN101045231A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 平冈伸康;奥村刚;仲野彰义 | 申请（专利权）人： | 大日本网目版制造株式会社 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B1/04;B08B7/04;B08B3/04;H01L21/00;H01L21/30;H01L21/67;G11B7/26;H01L21/304 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王玉双 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板处理装置以及基板处理方法。本发明的基板处理装置包括：基板保持机构，其对基板进行保持；清洗刷，其采用能够弹性变形的材料而形成为向着垂线方向的一侧而前端变细的形状，且具有相对所述垂线方向而倾斜的清洗面，其中，所述垂线方向是与保持在所述基板保持机构上的基板的一侧表面垂直的方向；清洗刷移动机构，其使所述清洗刷相对于保持在所述基板保持机构上的基板而进行移动；控制单元，其用于控制该清洗刷移动机构，而将所述清洗面按压于保持在所述基板保持机构上的基板的所述一侧表面的周边区域以及外周端面上。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理装置，其特征在于，包括：基板保持机构，其对基板进行保持；清洗刷，其采用能够弹性变形的材料而形成为向着垂线方向的一侧而前端变细的形状，且具有相对所述垂线方向而倾斜的清洗面，其中，所述垂线方向是与保持在所述基板保持机构上的基板的一侧表面垂直的方向；清洗刷移动机构，其使所述清洗刷相对于保持在所述基板保持机构上的基板而进行移动；控制单元，其用于控制该清洗刷移动机构，而将所述清洗面按压于保持在所述基板保持机构上的基板的所述一侧表面的周边区域以及外周端面上。
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