[发明专利]用于安装半导体芯片的装置有效
申请号: | 200710090401.0 | 申请日: | 2007-04-06 |
公开(公告)号: | CN101281873A | 公开(公告)日: | 2008-10-08 |
发明(设计)人: | 石敦智;赖俊魁;蔡奇陵;苏建嘉 | 申请(专利权)人: | 均豪精密工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/58;H01L21/603;H01L21/677 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 孟锐;臧慧敏 |
地址: | 中国台湾台北县*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明揭示一种用于安装半导体芯片的装置,其是用于将半导体芯片安装固定在衬底或导线架的封装设备。所述装置包含第一进料输送单元、第二进料输送单元、预压模块和主压合模块,其中所述第一进料输送单元和所述第二进料输送单元轮替地将衬底传送到所述预压模块处。所述预压模块会将多个半导体芯片依序放置在已送到定位的衬底表面,并施加压力使所述半导体芯片与所述衬底初步结合。然后所述主压合模块中的多个压合头会同时触压所述多个半导体芯片,并使所述多个半导体芯片与所述衬底紧密结合。 | ||
搜索关键词: | 用于 安装 半导体 芯片 装置 | ||
【主权项】:
1. 一种用于安装半导体芯片的装置,其用于将多个半导体芯片粘固于多个封装载体上,其特征在于包含:预压模块,将所述半导体芯片放置并初步固定在已送到定位的所述封装载体表面或所述封装载体上已固定的另一半导体芯片表面;多个进料输送单元,分别轮替地将所述多个封装载体传送到所述预压模块;和主压合模块,将所述半导体芯片与所述封装载体表面或所述已固定的半导体芯片充分结合。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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