[发明专利]纳米级加工电极和工件及其制造方法

摘要

本发明涉及具有诸如细微凹槽间距(＜100微米)、细微特征宽度(＜25微米)、变化的凹槽深度和3D表面剖面等用于最优轴承性能的特征的电动机轴承元件。公开了用于制造该工件的方法、用于制造最终部分的电极设计、以及用于制造这一电极的方法。公开了一种包括具有期望剖面的导电块的电极。本发明的实施例的电极可由包括极难或难以加工的材料在内的各种各样材料制成。电极可由固体、具有空心芯的轴套或具有填充芯的轴套制成。这一电极可被用来在工件上实现最优化的凹槽几何形状。本发明的实施例的电极还通过一种制造方法制成，该方法包括：通过激光烧蚀空心导电块的部分在该空心导电块的表面上形成凹槽图案，且在该凹槽图案中形成或不形成介电材料。公开了涉及光聚合、选择性烧蚀、电镀和用于凹陷槽脊的反ECM的其它方法。

主权项

1.一种包括导电块的电极，所述导电块具有穿过所述导电块的第一开口和穿过所述导电块的第二开口，所述第二开口从所述第一开口横穿到所述导电块的表面。