[发明专利]基板检查装置无效
| 申请号： | 200710088352.7 | 申请日： | 2007-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN101038260A | 公开（公告）日： | 2007-09-19 |
| 发明（设计）人： | 松本胜;藤崎畅夫 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/896 | 分类号： | G01N21/896;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板检查装置，该基板检查装置具有：浮起平台部(6)，该浮起平台部(6)使基板(1)浮起并对其进行水平支撑；第1基板搬运装置(9)，其保持基板(1)的端部，在使基板(1)在浮起平台部(6)上方浮起的状态下对基板(1)进行搬运；检查部，其对由第1基板搬运装置(9)搬运来的基板(1)进行检查；以及第2基板搬运装置(8)，其在浮起平台部(6)的端部配置有多个可进行旋转驱动的旋转体(8b)，该旋转体(8b)被设置成可以出没于浮起平台部(6)的搬运面，并支撑基板(1)的背面，以将基板(1)搬入到浮起平台部(6)内。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板检查装置，其特征在于，该基板检查装置具有：浮起平台部，该浮起平台部使基板浮起并对其进行水平支撑；第1基板搬运装置，该第1基板搬运装置保持上述基板的端部，在使上述基板在上述浮起平台部上方浮起的状态下，搬运上述基板；检查部，该检查部对由上述第1基板搬运装置搬运来的上述基板进行检查；以及第2基板搬运装置，该第2基板搬运装置在上述浮起平台部的端部配置有多个可进行旋转驱动的旋转体，上述旋转体被设置成可出没于上述浮起平台部的搬运面，并支撑上述基板的背面，以将上述基板搬入到上述浮起平台部内。
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