[发明专利]探针卡,该探针卡的设计方法,以及使用该探针卡测试半导体芯片的方法无效
| 申请号： | 200710085791.2 | 申请日： | 2007-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN101038302A | 公开（公告）日： | 2007-09-19 |
| 发明（设计）人： | 福岛义德;川真田阳介 | 申请（专利权）人： | 尔必达存储器株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 谷惠敏;钟强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种探针卡具有多个探针组，这些探针组排列为预定图形。通过假设彼此相邻排列的多个单元区域11－14形成芯片组区域来获得预定图形。该单元区域的数量等于索引的数量。包括在芯片组区域中的单元区域之一被限定为特定单元区域。其间无间隙地排列该芯片组区域，以覆盖圆片的尺寸。该排列的芯片组区域形成虚拟覆盖图形。提取出特定单元区域的排列以形成预定的图形。每个探针组被排列在对应于预定图形的每个特定单元区域的位置上。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 设计 方法 以及 使用 测试 半导体 芯片 | ||
【主权项】：
1.一种探针卡，用于测试在圆片上形成的多个半导体芯片，每个半导体芯片具有多个焊盘，该探针卡具有主平面并且包括多个探针组，每个探针组具有多个探针，该探针的数量等于每个半导体芯片的焊盘的数量，该探针组排列为预定图形，其中该预定图形的轮廓基本上为圆形，相邻排列的探针组至少在第一和第二方向之一上彼此间隔一定距离，该距离对应于至少一个半导体芯片，该第一和第二方向彼此垂直并限定了与探针卡的主平面相平行的平面。
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