[发明专利]流量控制设备无效
| 申请号： | 200710084439.7 | 申请日： | 2007-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN101029652A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | 黑泽贤一 | 申请（专利权）人： | SMC株式会社 |
| 主分类号： | F15C7/00 | 分类号： | F15C7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 范莉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种流量控制设备，包括基座部分(18)，其中基座部分(18)由多个堆叠的金属板构成。流量控制设备还包括压力控制部分(20)、压力传感器(78)和流动通道转换部分(22)，所述压力控制部分(20)调节流动穿过基座部分(18)中的第一通道(30)的压力流体(气体)的压力，所述压力传感器(78)检测流动穿过第二通道(34)的压力流体的压力，所述流动通道转换部分(22)包括第一到第三孔口(48a到48c)，用于节流由压力控制部分(20)压力调节的流体，从而具有预定的流量，并且流动通道转换部分(22)具有第一到第三开关阀，用于转换第四到第六通道(38，40，42)，以分别朝着压力流体输出孔(14)引导压力流体。 | ||
| 搜索关键词： | 流量 控制 设备 | ||
【主权项】：
1.一种流量控制设备，包括：基座部分(18)，其具有由穿透孔或者非穿透孔构成的压力流体通道、压力流体输入孔(12)、压力流体输出孔(14)和压力传感器孔(16)，所述基座部分(18)通过整体地堆叠多个板(24a到24e)和一隔膜而形成，所述隔膜起着设置在所述板(24a，24b)之间的阀塞(26)的作用；装配在所述基座部分(18)的一侧表面上的压力控制部分(20)，其调节流动穿过所述通道的压力流体的压力；装配在所述基座部分(18)的所述侧表面上的压力传感器(78)，其与所述压力传感器孔(16)连通，并且检测流动穿过所述通道的所述压力流体的所述压力；和装配在所述基座部分(18)的所述侧表面上的流动通道转换部分(22)，其转换与所述压力控制部分(20)及所述压力流体输出孔(14)连通的所述通道(38，40，42)，从而经所述压力控制部分(20)压力调节的所述压力流体朝着所述压力流体输出孔(14)流动。
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