[发明专利]图案形成方法、液滴喷出装置、取向膜形成方法及装置无效
| 申请号： | 200710084152.4 | 申请日： | 2007-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN101024333A | 公开（公告）日： | 2007-08-29 |
| 发明（设计）人： | 岩田裕二 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/01 | 分类号： | B41J2/01;B41J2/04;B41J3/407;B41J29/38;H01L51/00;G02F1/133 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 公开一种从喷出头向基板喷出含有图案形成材料的液滴，并在该基板上形成图案的图案形成方法。所述喷出头具有沿所述基板的一面排列的多个喷出口。在使所述基板相对于所述喷出头移动的同时，沿着相对于所述基板的法线倾斜的喷出方向从所述喷出口喷出含有所述图案形成材料的液滴。该液滴的喷出在使所述喷出口的排列方向相对于所述基板的移动方向倾斜的状态下进行。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 方法 喷出 装置 取向 | ||
【主权项】：
1.一种图案形成方法，其从喷出头向基板喷出含有图案形成材料的液滴，并在该基板上形成图案，其中，包括：使所述喷出头及所述基板中的至少一方相对于另一方移动的步骤，其中，所述喷出头具有沿着所述基板的一面排列的多个喷出口；使所述喷出口的排列方向相对于所述相对移动的方向倾斜的步骤；在进行所述相对移动的同时，沿着相对于所述基板的法线倾斜的喷出方向从所述喷出口喷出含有所述图案形成材料的液滴的步骤。
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