[发明专利]烘箱或类似装置的气体入口的密封装置有效
| 申请号： | 200710079170.3 | 申请日： | 2007-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN101021381A | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | J－M·加西亚;O·珀蒂让;E·西翁 | 申请（专利权）人： | 马塞尔－布加蒂股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/00 | 分类号： | F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程伟;郭笑傲 |
| 地址： | 法国维利济*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 一种管道(12)，用于将气体输入烘箱或类似装置(诸如CVI/CVD烘箱)，尤其是将气体输入烘箱中的反应腔室(16)结构，其设有气密性管状密封装置(32)，该密封装置其沿着管道的径向向外延伸并限定基本气密性的通道，输送管道沿此通道延伸。管状密封装置至少在横向和/或轴向基本上是挠性的，从而适应反应腔室的位置和气体输送管道穿入烘箱的位置之间的定位缺陷(该缺陷可能是由于诸如非对称的热膨胀/收缩造成)。 | ||
| 搜索关键词： | 烘箱 类似 装置 气体 入口 密封 | ||
【主权项】：
1.一种气体入口装置，其用于使气体从烘箱外部到烘箱内部的形成于反应腔室(16)内的入口通道(14)而通入烘箱中，该入口装置包括：·用于将气体输入到烘箱中的气体管道(12)，该气体管道在烘箱的外部和烘箱的内部之间延伸，并且至少在形成于反应腔室内的气体入口通道的附近具有一个终止端；以及·相对于气体管道位于径向外侧的管状密封装置(32)，该管状密封装置的第一端以气密性的方式被固定，该第一端处于烘箱的内表面邻近于气体管道穿入烘箱的位置，并且该管状密封装置向邻近于气体入口通道的位置延伸，以密封的方式固定到其上；该气体入口装置的特征在于，管状密封装置包括挠性的第一轴向部分(32a)和相对刚性的第二轴向部分(32b)。
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