[发明专利]表面疵病检测图像拼接时物像坐标误差调整装置及方法

摘要

本发明公开了一种表面疵病检测图像拼接时物像坐标误差调整装置及方法。在检测大口径精密元件表面时，需要将扫描的成百上千帧子孔径图利用数字图像处理的方法实施图像拼接。本发明针对影响全孔径拼接时的误差—CCD坐标与扫描轨迹坐标间的夹角α，提出根据被测大口径元件尺寸、物方视场大小及所需拼接的N×N的子孔径数，从而确定相应的最大角度容差α_max。本发明设计了特定的角度调整机构，可以实现CCD坐标系与扫描轨迹坐标系一致性的调整。本发明提出了利用具有标准刻线的标准板、XY扫描系统及专门的图像处理软件组合可以实现按照特定的调整方法使两个坐标系的夹角α小于α_max，从而保证全孔径的正确拼接，达到表面疵病等级和位置的正确评定。

主权项

1.一种表面疵病检测图像拼接时物像坐标误差调整装置，其特征在于它具有基座(5)，在基座(5)上设有角度调整台支座(4)、角度调整台(3)，在角度调整台(3)上装有显微镜固定架(9)，在显微镜固定架(9)中固定有光学显微镜(2)，在光学显微镜(2)上端装有CCD(1)，CCD(1)依次与图像采集卡(10)、计算机(11)、XY扫描驱动电路(12)及XY扫描工作台(8)相连接，在XY扫描工作台(8)上安放调整时用的标准板(7)。