[发明专利]双腔平衡式气动室温红外探测器

摘要

本发明涉及一种双腔平衡式气动室温红外探测器，属于探测器领域。包括吸收腔(10)、覆盖于吸收腔上的红外窗口(2)、在吸收腔壳体上的敏感薄膜(6)以及检测敏感薄膜形变的元件(14)，特征在于：在敏感薄膜(6)的另一侧设置平衡腔(11)，吸收腔(10)与平衡腔(11)内的气体的压强相同。其中，检测敏感薄膜形变的元件(14)设置在吸收腔内或平衡腔内，为可变电容(4)，或者是由隧道尖端(9)和敏感薄膜(6)构成的元件。本发明结构简单、有极好的温度、压强特性，可以在很宽的温度、压强范围正常工作。同时也屏蔽了气流等对器件的影响，提高了探测器的性能。

主权项

1、双腔平衡式气动室温红外探测器，包括吸收腔(10)、覆盖于吸收腔(10)上的红外窗口(2)、在吸收腔(10)壳体上的敏感薄膜(6)以及检测敏感薄膜形变的元件(14)，其特征在于：在敏感薄膜(6)的另一侧设置平衡腔(11)。