[发明专利]一种薄层微晶介质材料的光电子特性检测方法及装置

摘要

一种薄层微晶介质材料的光电子特性检测方法及装置，属于测量技术领域。所要解决的技术问题是提供具有较高灵敏度和分辨率、利用微波无接触探测的一种检测薄层微晶介质材料光电子特性方法及其装置。其技术方案是：微波源发出两路微波，一路作为参考信号等幅输入两个平衡混频器，另一路作为探测信号进入微波谐振腔；用激光照射微波谐振腔中的薄层微晶介质材料；从微波谐振腔中反射出的探测信号输入到两个平衡混频器中；平衡混频器将参考信号与探测信号混频后，利用相敏技术分离出微波吸收信号和色散信号，将吸收信号和色散信号功率的变化转化为辅出电压的变化；输出电压变化输入到计算机中，得到自由和束缚光电子信号的幅度衰减曲线。

主权项

1.一种薄层微晶介质材料的光电子特性检测方法，它通过检测激光照射下薄层微晶介质材料的微波反射波，利用相敏装置获得材料光生载流子引起的反射波吸收和色散信号的变化，即对应着自由光电子和束缚光电子的衰减过程，由衰减曲线计算所测薄层微晶介质材料的光电子寿命，其特征在于采用以下步骤进行：a.将薄层微晶介质材料样品(21)通过进光孔(25)放置在微波谐振腔(5)中；b.微波源发出的微波经过隔离器并被功率分配器分成两路，其中一路经过移相器后作为参考信号等幅输入两个平衡混频器，另一路作为探测信号，经过衰减器和环行器，进入微波谐振腔；c.利用快脉冲激光照射微波谐振腔中的薄层微晶介质材料；d.微波谐振腔中的探测微波的反射波为探测信号，它从微波谐振腔输出后经过环行器和功率分配器，输入两个平衡混频器；e.两个平衡混频器将参考信号与探测信号混频后，利用相敏技术分离出微波吸收信号和色散信号，将吸收信号和色散信号功率的变化转化为输出电压的变化；f.将输出电压经过前置放大系统后由数字示波器记录下输出电压变化，然后输入到计算机中，得到自由和束缚光电子信号的幅度衰减曲线。