[发明专利]一种离子注入机的测漏桶

摘要

本发明提供了一种离子注入机的测漏桶，测漏桶与外部测漏机并行使用，用于对离子各模组进行测漏。它包括测漏桶桶身，测漏桶桶身上具有与外部测漏机连接的抽气孔，测漏桶桶身还开有一敞口，测漏桶桶身的敞口处与可与其形成密封型接触的被测漏模组连接，被测漏模组置于桶身内，不同得被测漏模组还可通过不同尺寸的适配板与测漏桶桶身进行密封型连接，这样可适用于离子注入机不同模组进行漏点测试。本发明离子注入机的测漏桶，不仅结构简单，而且能够方便准确定位离子注入机的漏点，避免对离子注入机反复重组进行测试，延误离子注入机的正常使用。

主权项

1.一种离子注入机的测漏桶，所述测漏桶与外部测漏机配合使用，用于对离子注入机模组进行测漏，其特征在于，它包括：测漏桶桶身，所述测漏桶桶身一侧具有与所述外部测漏机连接的抽气孔，所述测漏桶桶身顶部开有一敞口，所述离子注入机的被测漏模组与所述测漏桶桶身的敞口形成密封型连接，所述被测漏模组置于所述测漏桶桶身内。