[发明专利]离子束流密度和能量的同步测量装置无效
| 申请号： | 200710046649.7 | 申请日： | 2007-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN101130858A | 公开（公告）日： | 2008-02-27 |
| 发明（设计）人： | 王聪娟;晋云霞;邵建达 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于离子源的离子束流密度和能量的同步测量装置，通过磁场偏转进行阳离子和电子的分离：电子通过电子接收器进行采集，采集的电流与该装置对应捕获面积的比值即反映了束流密度，而阳离子通过阳离子接收器进行采集，通过对阳离子运行轨迹的分析，获得离子能量的分布情况。本发明装置能够同时对离子能量和束流密度进行测量。可以同时获得离子束流密度和能量的分布规律。本发明装置使用简单，操作方便，实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 密度 能量 同步 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于离子源的离子束流密度和能量的同步测量装置，其特征在于包括：采用磁屏蔽材料制成一圆柱形采集筒(2)，在圆柱形采集筒(2)内设置一筒形结构的离子过滤器(4)，其截面为一半圆形及一等腰直角三角形的一直角边和斜边围合而成，在该采集筒(2)的侧壁上及所述的离子过滤器(4)的半圆形和三角形的斜边连接处采用磁屏蔽材料设一引流孔(1)，在离子过滤器(4)的半圆形位置设置碗形电子接收器(7)，在离子过滤器(4)的等腰直角三角形的直角边和斜边位置处设置一片状阳离子接收器(6)，该离子过滤器(4)接地，但与所述的阳离子接收器和电子接收器绝缘，在该采集筒(2)内两个端面分别设置电磁线圈(5)，该电磁线圈(5)与该采集筒(2)外的一可调恒压直流电源相连，以在该采集筒(2)中离子过滤器(4)内建立恒定的可调的匀强磁场(3)，所说的阳离子接收器(6)经第一电阻(8)和第一毫安表(9)接地，所说的电子接收器(7)经第二电阻(9)和第二毫安表(11)接地。
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