[发明专利]制造太阳能级多晶硅的装置及其方法

摘要

本发明公开了一种制造太阳能级多晶硅的装置，包括：真空室[1]，其上方设有加料器[3]，其内设置有悬浮熔炼坩锅[2]。悬浮熔炼坩锅[2]的外围绕有感应线圈[5]、上方设有感应等离子发生器[4]、下方设有由定向凝固机构[8]控制的水冷底盘[6]及其升降装置。水冷底盘[6]下拉行程四周设有石墨加热套[7]。本发明还公开了一种太阳能级多晶硅的制造方法，其步骤为：1.原料选择；2.熔化；3.悬浮熔炼；4.等离子除杂；5.定向凝固成型；6.连续加料。本发明在一台设备中实现了等离子熔炼、悬浮熔炼和定向凝固工艺，取得了连续、快速、高效生产低成本太阳能级多晶硅的有益效果。

主权项

1、一种制造太阳能级多晶硅的装置，其特征在于，该装置包括：真空室[1]，其内设置有悬浮熔炼坩锅[2]，悬浮熔炼坩锅[2]的外围绕有感应线圈[5]；悬浮熔炼坩锅[2]的上方设有感应等离子发生器[4]；悬浮熔炼坩锅[2]下方设有水冷底盘[6]及其升降装置，水冷底盘[6]及其升降装置与定向凝固机构[8]连接；在水冷底盘[6]升降装置的下拉行程的四周设有石墨加热套[7]；真空室[1]的上方设有加料器[3]；真空系统[9]和真空室[1]连接。