[发明专利]一种全折射浸液式投影光学系统、装置及其应用有效
| 申请号： | 200710043872.6 | 申请日： | 2007-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN101101450A | 公开（公告）日： | 2008-01-09 |
| 发明（设计）人： | 蔡燕民 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B13/24;G02B9/62;G02B1/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种全折射浸液式投影光学系统、装置及其应用，用于将所述光学系统物平面内的图形成像到所述光学系统像平面内。所述投影光学系统从物面沿其光轴方向包括六个镜组；第一、三、五和六镜组具有正光焦度，第二、四镜组具有负光焦度；孔径光阑位置设置于第五镜组和第六镜组之间；在像面和最靠近像面的透镜表面之间充满了高折射率的液体介质；且所述每一透镜的光学表面均为球面或平面。本发明不仅实现了大数值孔径、高分辨率和较好的成像质量；而且增大了物方工作距，却并未引入非球面，降低了光学加工、检测和装校的难度，同时也有效地降低了制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 折射 浸液 投影 光学系统 装置 及其 应用 | ||
【主权项】：
1、一种全折射浸液式投影光学系统，从物面沿其光轴方向包括六个镜组，其特征在于：第一镜组(G1)具有正光焦度、第二镜组(G2)具有负光焦度、第三镜组(G3)具有正光焦度、第四镜组(G4)具有负光焦度、第五镜组(G5)具有正光焦度、第六镜组(G6)具有正光焦度，孔径光阑位置设置于第五镜组(G5)和第六镜组(G6)之间，在像面和最靠近像面的透镜表面之间充满了高折射率的液体介质，且所述每一透镜的光学表面均为球面或平面。
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