[发明专利]宏观取向有序介孔二氧化硅薄膜的制备方法无效
申请号: | 200710040754.X | 申请日: | 2007-05-17 |
公开(公告)号: | CN101049937A | 公开(公告)日: | 2007-10-10 |
发明(设计)人: | 陆学民;路庆华;苏彬 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | C01B33/149 | 分类号: | C01B33/149;C01B33/145;C01B33/113 |
代理公司: | 上海交达专利事务所 | 代理人: | 王锡麟;王桂忠 |
地址: | 200240*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种宏观取向有序介孔二氧化硅薄膜的制备方法,属于材料技术领域的制备方法。本发明包括步骤:薄膜表面周期性微米或纳米沟槽微结构的制备;溶胶-凝胶前驱液的配制;介孔薄膜的制备。本发明的方法使得制备出的介孔薄膜有序性更加提高,同时,方法操作简便、易于控制、能够大规模生产,可应用于分子分离、传感器、催化剂载体、光电材料等领域。 | ||
搜索关键词: | 宏观 取向 有序 二氧化硅 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种宏观取向有序介孔二氧化硅薄膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)薄膜表面周期性微米或纳米沟槽微结构的制备:将聚酰亚胺薄膜以扫描方式在薄膜表面制备出周期为200nm-600nm,深度为80nm-150nm的周期性微米或纳米级沟槽微结构;(2)溶胶-凝胶前驱液的配制:将硅源正硅酸四乙酯滴加到酸性的表面活性剂十六烷基三甲基氯化铵的乙醇溶液中或者滴加到酸性的非离子表面活性剂聚乙二醇-聚丙二醇-聚乙二醇共聚物的乙醇溶液中,PH值为0至0.5,形成乙醇溶剂过量的临界状态,搅拌,形成均一透明的溶胶-凝胶前驱液;(3)介孔薄膜的制备:将激光处理的聚酰亚胺薄膜竖直放入到配制好的溶胶-凝胶前驱液中,以缓慢垂直提拉薄膜或者旋转涂布薄膜,在具有沟槽微结构的薄膜表面上形成宏观取向的薄膜,经过加热煅烧或者乙醇萃取制备定向的介孔二氧化硅薄膜。
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