[发明专利]对离散样本数据进行统计过程控制的方法及其装置有效
| 申请号： | 200710039556.1 | 申请日： | 2007-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN101290517A | 公开（公告）日： | 2008-10-22 |
| 发明（设计）人： | 杨斯元;简维廷 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种对离散样本数据进行统计过程控制的方法，包括下述步骤：收集离散样本数据，根据统计分布函数计算所收集的离散样本数据的置信区间和双控制界限；根据计算所得的双控制界限，判断新收集的离散样本数据是受控数据或是失控数据；若新收集的离散样本数据为受控数据，根据统计分布函数重新计算用于计算原来的双控制界限的离散样本数据和新收集的受控数据的置信区间和双控制界限；若新收集的离散样本数据为失控数据，对所述的失控数据进行失效分析，查找产生失控数据的因素。本发明可以节省生产过程中收集离散样本数据所需耗费的成本和时间，进而降低生产过程中的测试成本以及缩短生产过程中的测试周期。 | ||
| 搜索关键词： | 离散 样本 数据 进行 统计 过程 控制 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种对离散样本数据进行统计过程控制的方法，其特征在于，包括下述步骤：收集离散样本数据，根据统计分布函数计算所收集的离散样本数据的置信区间和双控制界限；根据计算所得的双控制界限，判断新收集的离散样本数据是受控数据或是失控数据；以及若新收集的离散样本数据为受控数据，根据统计分布函数重新计算用于计算原来的双控制界限的离散样本数据和新收集的受控数据的置信区间和双控制界限。
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