[发明专利]一种生长在玻璃衬底上的图形化ZnO纳米线结构及其制备方法无效

专利信息
申请号: 200710037758.2 申请日: 2007-03-01
公开(公告)号: CN101041557A 公开(公告)日: 2007-09-26
发明(设计)人: 郁可;王青艳;朱自强 申请(专利权)人: 华东师范大学
主分类号: C03C17/245 分类号: C03C17/245
代理公司: 上海德昭知识产权代理有限公司 代理人: 程宗德;石昭
地址: 200062*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种生长在玻璃衬底上的图形化ZnO纳米线结构及其制备方法。该结构是依附在玻璃衬底上的、呈周期性图形的ZnO纳米线,纳米线的直径和长度分别为50~100nm和0.5~1μm,每个周期的纳米线长度为400μm。该结构是在较低的温度和常压的条件下,用热蒸发工艺将ZnO通过覆盖在玻璃衬底表面的带周期性空洞的模板的周期性空洞,生长在玻璃衬底表面上的。有以下优点:衬底是导电玻璃,为实现平板显示器的全玻璃封装铺平了道路;生长温度低,最高只需要500℃,降低了对设备的要求;生长时间短,只需15~30min,节约了能源;压力只需是常压;对载气的要求不高,只需氩气,且流量低;方法简单,成本低,大面积生长,重复性好;借助带有周期性空洞的模板实现图形化生长。
搜索关键词: 一种 生长 玻璃 衬底 图形 zno 纳米 结构 及其 制备 方法
【主权项】:
1、一种生长在玻璃衬底上的图形化ZnO纳米线结构,其特征在于,该结构是依附在玻璃衬底上的、呈周期性图形的ZnO纳米线,该纳米线的直径和长度分别为50~100nm和0.5~1μm,每个周期的ZnO纳米线长度为400μm。
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