[发明专利]一体化超精密工作台运动机构无效
| 申请号： | 200710037393.3 | 申请日： | 2007-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN101013603A | 公开（公告）日： | 2007-08-08 |
| 发明（设计）人： | 赵艳涛;王超群;赵展;刘建华;刘冰;孙亚杰 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00;B25H1/00 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所 | 代理人： | 何文欣 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种一体化超精密工作台运动机构。它包括基座、通过螺栓固定在基座上呈平面分布的铰链机构和驱动铰链机构的压电驱动器，其特征在于所述的铰链机构为三个双平行多杆柔性机构，其中两个双平行多杆柔性机构相互平行而垂直铰链另一个双平行多杆柔性机构的中段；所述的两个相互平行的双平行多杆柔性机构之间连接所述的压电驱动器；而另一个双平行多杆柔性机构的中段与工作台固定连接。本发明具有较大的减速比，提高工作台的分辨率。结构简单，可在真空、高温、辐射等苛刻环境下工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一体化 精密 工作台 运动 机构 | ||
【主权项】：
1.一种一体化超精密工作台运动机构，包括基座(1)、通过螺栓(4)固定在基座(1)上呈平面分布的铰链机构(2)和驱动铰链机构(2)的压电驱动器(3)，其特征在于所述的铰链机构(2)为三个双平行多杆柔性机构(A、B、C)，其中两个双平行多杆柔性机构(A、B)相互平行而垂直铰链另一个双平行多杆柔性机构(C)的中段；所述的两个相互平行的双平行多杆柔性机构(A、B)之间连接所述的压电驱动器(3)；而另一个双平行多杆柔性机构(C)的中段与工作台固定连接。
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