[发明专利]微位移高精度实时干涉测量仪无效
| 申请号： | 200710037265.9 | 申请日： | 2007-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN101033939A | 公开（公告）日： | 2007-09-12 |
| 发明（设计）人： | 何国田;王向朝 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种微位移高精度实时干涉测量仪，包括由半导体激光器、准直扩束镜、分束器、参考平板、待测量物体和探测元件组成的泰曼格林干涉仪，其特点是：所述的探测元件的输出端依次串连接实时信号处理电路归一化电路和单片机，该单片机具有相位连续化处理软件，该单片机的输出端与示波器的输入端相连，直流电源和信号源通过调制器与所述的半导体激光器相连接，所述的信号源还与所述的实时信号处理电路相连接。本发明的优点是提高了位移测量精度，扩展测量范围，使用时不需要校正，操作简便，可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 位移 高精度 实时 干涉 测量仪 | ||
【主权项】：
1、一种微位移高精度实时干涉测量仪，包括由半导体激光器(1)、准直扩束镜(2)、分束器(3)、参考平板(4)、待测量物体(5)和探测元件(6)组成的泰曼格林干涉仪，其特征在于：所述的探测元件(6)的输出端接实时信号处理电路(7)输入端、该实时信号处理电路(7)输出端接归一化电路(8)输入端，该归一化电路(8)输出端接单片机(9)输入端，该单片机(9)具有相位连续化处理软件，该单片机9的输出端与示波器(10)的输入端相连，直流电源(11)和信号源(12)通过调制器(13)与所述的半导体激光器(1)相连接，所述的信号源(12)还与所述的实时信号处理电路(7)相连接。
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