[发明专利]用于金属有机物化学气相淀积设备的大面积梳状喷淋头

摘要

一种用于金属有机物化学气相淀积设备的大面积梳状喷淋头，它有两组梳状喷淋头，第一组梳状喷淋头由装有进气接头的气体A总管和多根平行排列的气体A通气支管组成，各气体A通气支管的一端同气体A总管连通而另一端为封闭端，第二组梳状喷淋头由装有进气接头的气体B总管和多根平行排列的气体B通气支管组成，各气体B通气支管的一端同气体B总管连通而另一端为封闭端，气体A通气支管与气体B通气支管交替排列且连接成整体结构，气体A总管与气体B总管分别位于该整体结构对应两侧，各气体A通气支管和各气体B通气支管开有若干喷淋孔。它有效实现了送入两种源气体且使其在喷入反应室之前相互隔离，在到达衬底上方发生反应时混合均匀。

主权项

1.一种用于金属有机物化学气相淀积设备的大面积梳状喷淋头，它有两组梳状喷淋头，其中第一组梳状喷淋头由装有进气接头(1)的气体A总管(2)和多根平行排列的气体A通气支管(3)组成，所述各气体A通气支管(3)的一端同所述气体A总管(2)连通而另一端为封闭端，第二组梳状喷淋头由装有进气接头(4)的气体B总管(5)和多根平行排列的气体B通气支管(6)组成，所述各气体B通气支管(6)的一端同所述气体B总管(5)连通而另一端为封闭端，其特征是，所述气体A通气支管(3)与气体B通气支管(6)交替排列且连接成整体结构，所述气体A总管与气体B总管分别位于该整体结构对应两侧，构成所述整体结构的各气体A通气支管(3)和各气体B通气支管(6)的同一侧开有若干喷淋孔(7、8)。