[发明专利]油扩散泵抽高真空快冷装置

摘要

本发明油扩散泵抽高真空快冷装置是真空炉抽高真空时扩散泵的一种加强装置，它的目的是提高抽真空系统的真空度，并降低油扩散泵对加热区域的污染。目前的扩散泵是由电加热盘将扩散泵里的油加热，挥发，在上部有一水冷管路通过水冷的方式进行冷凝为回流而复始来达到抽真空的目的。目前的水冷管路一般不带水冷装置，故冷却效果不好，往往真空度达不到标准的要求。由于冷却速度的不够，油的挥发往往进入加热室而导致污染工件。本发明是主要在原扩散泵的基础上加上一个高强度的冷井，它的原理是在原水冷的基础上将以氟里昂为介质由压缩机制冷的循环系统，使其冷却速度大大降低，从而大大改善了冷凝的效果。使油在通过冷井时也不再挥发。也就不会有油污进入加热室。

主权项

1.在原扩散泵的基础上加上一个高强度的冷井，它的原理是在原水冷的基础上将水换成以氟里昂为介质由压缩机制冷的循环系统，使其冷却速度大大降低，从而大大改善了冷凝的效果。使油在通过冷井时也再挥发。也就不会有油污进入加热室。