[发明专利]微电子机械正交双通道微波相位在线检测器及其制备方法

摘要

微电子机械正交双通道微波相位在线检测器及其制备方法使得测量信号的幅度变大、测量信号的频带变宽、可测相位为整个周期、不需要消耗直流功率，且便于集成，该在线检测器以砷化镓为衬底(1)，在衬底上有功率分配器、功率合成器、90°移相器、固支梁结构，功率分配器、功率合成器由共面波导构成的端口一(7)、端口二(8)、端口三(9)、不对称共面带线(10)、氮化钽电阻(2)组成；固支梁结构包括信号输入端口(16)、桥墩(5)、固支梁(13)、支撑结构(6)、传感电极(4)、传感电极引线(12)、电容检测端口(15)、空气桥(14)组成，在固支梁下方的传输线、支撑结构、传感电极及空气桥下方的传感电极引线的上方有氮化硅介质层(11)。

主权项

1、一种微电子机械正交双通道微波相位在线检测器，其特征在于第一功率分配器(a)的端口一接参考信号，第一功率分配器(a)的端口二、端口三分别输出参考信号一(Ur1)和参考信号二(Ur2)并分别接第一功率合成器(c)与第二功率合成器(d)的端口二；第二功率分配器(b)的端口一接被测信号，其端口二、端口三分别输出被测信号一(Us1)和被测信号二(Us2)并分别接第一功率合成器(c)的端口三和90°移相器(g)，在第一功率合成器(c)的端口一处形成了第三信号接到第一固支梁结构(e)的信号输入端；90°移相器(g)的输出端输出被测信号二_(Us2′)接到第二功率合成器(d)的端口三，在第二功率合成器(d)的端口一形成了第四信号，把第四信号接到第二固支梁结构(f)的信号输入端。