[发明专利]滤波式光学读出微梁温度传感器无效
| 申请号： | 200710020667.8 | 申请日： | 2007-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN101021441A | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | 张青川;李凯;伍小平 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01K5/48 | 分类号： | G01K5/48 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230026*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 滤波式光学读出微梁温度传感器，其特征是设置双材料微梁单元于感温头内，点光源以其投射光束投射在微梁反光板上；在来自微梁反光板的反射光的汇聚谱平面上设置直线边界滤波单元，成像透镜位于直线边界滤波单元之后，设置在成像透镜的成像位置上的光电接受器为光电接收器。本发明采用直线边界滤波的光学方法，检测双材料为悬臂梁自由端的热致转角变形，从而精密测量环境温度的变化。 | ||
| 搜索关键词： | 滤波 光学 读出 温度传感器 | ||
【主权项】：
1、滤波式光学读出微梁温度传感器，其特征是：设置双材料微梁单元(4)于感温头(5)内，点光源(1)以其投射光束投射在微梁反光板上；在来自微梁反光板的反射光的汇聚谱平面上设置直线边界滤波单元(7)，成像透镜(8)位于直线边界滤波单元(7)之后，设置在成像透镜(8)的成像位置上的光电接受器(9)为光电接收器。
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