[发明专利]一种具有气压敏感效应的碳/硅异质结新材料及其应用无效
| 申请号： | 200710013464.6 | 申请日： | 2007-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN101013726A | 公开（公告）日： | 2007-08-08 |
| 发明（设计）人： | 薛庆忠;郝兰众;高熙礼;李群;郑庆彬 | 申请（专利权）人： | 中国石油大学（华东） |
| 主分类号： | H01L29/84 | 分类号： | H01L29/84;G01L9/06;G01L1/18 |
| 代理公司： | 青岛高晓专利事务所 | 代理人： | 杨大兴 |
| 地址： | 257061山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有气压敏感效应的碳/硅异质结新材料，该材料是通过磁控溅射的方法，将纯度为99.9％的石墨靶或者将含有0～10％(质量分数)的铁的铁－石墨复合靶溅射到抛光的硅基片上，形成一层厚度为20nm～200nm的膜。该碳/硅异质结新材料具有明显的气压敏感效应，即材料的电阻值随气压变化而变化，可以用于制备气压传感器，无需额外设计电容器，通过该材料的电阻变化可直接反映出气压的变化，具有体积小，可做成立方毫米级，易于集成，材料耐高温、耐腐蚀、性质稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 气压 敏感 效应 硅异质结 新材料 及其 应用 | ||
【主权项】：
1.一种具有气压敏感效应的碳/硅异质结新材料，其特征是，在一块0.5～1.0mm厚的抛光硅基片上，溅射一层类金刚石碳薄膜，薄膜的厚度为20～200nm。
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