[发明专利]一种亚微牛顿级力测量系统无效
| 申请号： | 200710012544.X | 申请日： | 2007-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN101373156A | 公开（公告）日： | 2009-02-25 |
| 发明（设计）人： | 于鹏;董再励;缪磊;王越超;刘连庆;刘意杨;王光宏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;B81B7/02 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 许宗富;周秀梅 |
| 地址： | 110016辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及基于PVDF压电材料的微牛顿力测量技术。具体地说是亚微牛顿级力的测量系统，它由微力感知测量头，信号调理电路和数据采集模块构成，其中微力感知测量头接受来自探针的微作用力，将力信号变为电荷后送至信号调理电路，信号调理电路将其转换成合适大小并能检测的电压信号输出至数据采集模块，数据采集模块把获得的电压信号经过A/D转换后利用已标定好的微作用力与信号调理电路输出电压之间的关系，将所述电压值换算为微力数值。采用本发明解决了微装配过程中的亚微牛顿接触力测量问题，主要用于微纳米尺度加工、装配等技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 牛顿 测量 系统 | ||
【主权项】：
1.一种亚微牛顿力测量系统，其特征在于：由微力感知测量头，信号调理电路和数据采集模块构成，其中微力感知测量头接受来自探针的微作用力，将力信号变为电荷后送至信号调理电路，信号调理电路将其转换成合适大小并能检测的电压信号输出至数据采集模块，数据采集模块把获得的电压信号经过A/D转换后利用已标定好的对微作用力与信号调理电路输出电压之间的关系，将所述电压值换算为微力数值。
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