[发明专利]静电致动器、液滴喷出头、液滴喷出装置和静电驱动器件无效
| 申请号： | 200710007222.6 | 申请日： | 2007-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN101007461A | 公开（公告）日： | 2007-08-01 |
| 发明（设计）人： | 小松洋;松野靖史;佐野朗 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/045 | 分类号： | B41J2/045;B41J2/14;B41J2/16 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种响应性好、并且低驱动电压的静电致动器、液滴喷出头、液滴喷出装置、静电驱动器件以及它们的制造方法。具有板状的可动电极即振动板(22)；与振动板(22)相对，关于长边方向，对于振动板(22)，具有台阶或倾斜地形成的矩形状的成为固定电极的个别电极(12)；振动板(22)通过与个别电极(12A)之间产生的静电引力，按照与个别电极(12A)接触的顺序，板厚度变薄。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 致动器 喷出 装置 驱动 器件 | ||
【主权项】：
1.一种静电致动器，具有：板状的可动电极；和矩形状的固定电极，形成为与该可动电极对置，关于长边方向，相对于所述可动电极，具有台阶或倾斜地形成；所述可动电极按照通过与所述固定电极之间产生的静电引力与所述固定电极接触的顺序，板厚度变薄。
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