[发明专利]图案形成方法、液滴喷出装置及电光学装置无效
| 申请号： | 200710005855.3 | 申请日： | 2007-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN101024332A | 公开（公告）日： | 2007-08-29 |
| 发明（设计）人： | 岩田裕二 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/01 | 分类号： | B41J2/01;B41J3/407;H01L51/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 向第1形成区域(Sa)喷出来自第1喷出方向(Aa)的第1液滴(Fa)，赋予射中的第1液滴(Fa)从第1形成区域(Sa)的内侧向外侧(第2形成区域(Sb)的一侧)的速度成分(第1切线速度(Va))。另外，向第2形成区域(Sb)喷出来自第2喷出方向(Ab)的第2液滴(Fb)，赋予射中的第2液滴(Fb)从第2形成区域(Sb)的内侧向外侧(第1形成区域(Sa)的一侧)的速度成分(第2切线速度(Vb))。提供提高由液滴构成的图案的膜厚均匀性的图案形成方法、液滴喷出装置及电光学装置。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 方法 喷出 装置 光学 | ||
【主权项】：
1、一种图案形成方法，向基板的图案形成区域喷出图案形成材料的液滴后形成图案，其特征在于：从所述基板的法线方向看，以从所述图案形成区域的内侧朝着外侧的喷出方向，将所述液滴喷向所述图案形成区域的外缘。
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