[发明专利]显微镜装置

摘要

本发明提供一种显微镜装置，其能容易地进行测量点的对准作业且价格低廉。显微镜装置具有：XY载物台(22)，其使被检体水平移动；观察光学系统(10)，其用于观察被检体；Z载物台(15)，其使观察光学系统的物镜(11)上下移动；焦点检测系统(30)，其通过物镜向被检体照射测量光并检测聚焦；半透镜(17)，其使焦点检测系统和物镜光学地结合；信号处理部(41)，其根据焦点检测系统的检测结果控制Z载物台；和测量部(42)，其测量物镜通过Z载物台移动的移动量。显微镜装置还具有：配置在焦点检测系统和半透镜之间的光路上的两个楔形棱镜(51a、51b)；和将楔形棱镜分别保持为能够旋转的旋转机构(52a、52b)。

主权项

1、一种显微镜装置，其包括：观察光学系统，其包括配置在被检体附近的物镜；移动单元，其使上述被检体和上述物镜沿着上述观察光学系统的光轴相对移动；焦点检测系统，其通过上述物镜向被检体照射测量光，并且根据经上述被检体反射后的测量光来检测相对于上述被检体的聚焦；和光偏转单元，其使上述测量光对上述被检体的照射位置移动。