[发明专利]制造具有凹面部分的构件的方法,具有凹面部分的构件,透镜衬底,透射型屏幕和背面投影装置

摘要

一种制造具有凹面部分的构件的方法包括：制备基底材料；在所述基底材料上形成掩模形成膜；通过使用分支滤光器的激光照射处理在所述掩模形成膜中形成多个开口；和刻蚀所述基底材料以在所述基底材料中形成所述凹面部分。所述分支滤光器将激光分成第一激光束和第二激光束。所述掩模形成膜的照射区域的每一个连续经过所述激光照射处理使得第一开口由第一激光束形成并且第二开口由第二激光束形成。所述照射区域的每一个具有这样的部分，在此不由对所述照射区域的激光照射处理的第一光束形成开口，而在一次或多次随后的激光照射处理中由第二激光束形成开口。在所述基底材料中，使用如下开口的一些形成检测用凹面部分，所述开口由在对指定的照射区域的激光照射处理中使用的第二激光束形成。

主权项

1.一种制造具有凹面部分的构件的方法，所述具有凹面部分的构件具有多个凹面部分，所述方法包括：制备基底材料；在所述基底材料上形成掩模形成膜；通过使用分支滤光器的激光处理在所述掩模形成膜中形成多个开口以得到掩模，所述分支滤光器具有用于将从激光源发出的激光分成多个激光束的多个光透射部分，所述光透射部分包括在预定区域中安置以产生第一激光束的第一光透射部分和在所述预定区域以外安置以产生第二激光束的第二光透射部分；并且刻蚀在其上形成掩模的所述基底材料以在所述基底材料中形成凹面部分；其中所述掩模形成膜具有各自具有预定尺寸的多个照射区域，并且通过对所述多个照射区域的每一个以预定顺序连续进行使用由所述分支滤光器分开的激光束的激光照射处理，进行激光处理以在所述照射区域中形成开口，其中所述的通过对所述照射区域的每一个的激光照射处理形成的开口包括由第一激光束在所述照射区域内形成的第一开口和由第二激光束在所述照射区域以外形成的第二开口，其中安置分支滤光器的第一光透射部分和第二光透射部分使得所述照射区域的每一个具有这样的部分，在此不由对所述照射区域的所述激光照射处理的第一光束形成开口，而在一次或多次随后的激光照射处理中由第二激光束在所述照射区域的部分中形成开口，由此当对所有照射区域进行所述激光照射处理，然后完成刻蚀处理的时候，在所述基底材料中形成多个凹面部分，使得所述基底材料可以具有其中以有规则安置的方式形成所述凹面部分的有效区域和位于所述有效区域以外并且其中使用如下开口的一些形成检测用凹面部分的无效区域，所述开口由在对指定的照射区域的所述激光照射处理中使用的第二激光束形成。