[发明专利]衬底对准装置以及使用该装置对准衬底的方法无效
| 申请号： | 200680054966.7 | 申请日： | 2006-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN101461284A | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 李大帅;金彩雄;李庚旭;陆心万;金镇亨 | 申请（专利权）人： | 斗山MECATEC株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨 勇;郑建晖 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本说明书公开了一种用于对准衬底的装置和方法。该装置包括：基准板，其具有形成于下表面的边缘的台阶；夹具，其能够贯穿基准板的该边缘升高和降低并具有弯曲的下端，以允许将衬底装载在其上；用于支持框架的掩模框架支持器，该框架具有连接到其上的金属掩模；对准板，其连接到掩模框架支持器并且能够升高和降低；以及精密对准机构，其用于精密地将衬底和金属掩模相互对准。可以将衬底的下垂量减少到常规装置的下垂量的1/5或更少的水平。该装置进一步包括穿过基准板的磁体，从而允许衬底和金属掩模相互形成紧密接触。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 对准 装置 以及 使用 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种衬底对准装置，包括：基准板；夹具，其能够贯穿基准板的边缘升高和降低并且具有弯曲的下端，以允许将衬底装载在该弯曲的下端上；掩模框架支持器，用于支承一个框架，一个金属掩模连接到该框架；以及精密对准机构，其用于精密地将衬底和金属掩模相互对准。
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