[发明专利]离子源、系统和方法有效
| 申请号： | 200680051529.X | 申请日： | 2006-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN101371326A | 公开（公告）日： | 2009-02-18 |
| 发明（设计）人： | 比利·W·沃德;约翰·A·诺特四世;路易斯·S·法卡斯三世;兰德尔·G·珀西瓦尔;雷蒙德·希尔 | 申请（专利权）人： | 阿利斯公司 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;H01J37/08;H01J37/252;H01J37/305;H01J37/317;H01J27/26;B81B1/00;G01N23/225;G12B21/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了离子源、系统和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种系统，包括：能够与气体相互作用从而产生在样品的表面具有10nm或更小尺寸的斑点尺寸的离子束的气体场离子源。
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