[发明专利]通过线不敏感传感器无效
| 申请号： | 200680050303.8 | 申请日： | 2006-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN101351699A | 公开（公告）日： | 2009-01-21 |
| 发明（设计）人： | R·库塞拉 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01N21/57 | 分类号： | G01N21/57;G01B11/30;G01N33/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 朱海煜;王忠忠 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了一种用于检测样本表面表面特征的装置。示例系统可以具有用于移动样本表面的传送装置及用于反射光束偏离样本表面的光源。光检测器可以接收从样本表面反射的光束。光束的面积可以不等于光检测器的光检测面的面积。基于对接收到的反射光与已知样本表面的已知反射光值的比较，参考分析仪可以确定光学表面。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 敏感 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种用于检测样本表面的表面特征的装置，包括：传送装置，用于移动样本表面(206，406)；光源(202，402)，用于将光束反射离所述样本表面；光检测器(208，408)，用于接收从所述样本表面反射的所述光束，其中所述光束的面积不等于所述光检测器的光检测面(210，410)的面积；及参考分析仪，用于基于将接收的所述反射光与已知样本表面的已知反射光的值做比较而确定所述光学表面。
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