[发明专利]具有表面粗糙度的抛光垫无效
| 申请号： | 200680045085.9 | 申请日： | 2006-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN101500756A | 公开（公告）日： | 2009-08-05 |
| 发明（设计）人： | 蒂莫西·J·多诺休 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24D11/00 | 分类号： | B24D11/00;B24B1/04 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 肖善强 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种包含抛光层的抛光垫，所述抛光层具有表面粗糙度介于约200至300微英寸间的抛光表面。该抛光垫可通过如下的方法制造：通过挤出成型或模铸成型法形成一抛光层；以及打磨所述抛光层的抛光表面使其表面粗糙度介于约200至300微英寸之间。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 表面 粗糙 抛光 | ||
【主权项】：
1. 一种抛光垫，包含：一抛光层，其具有表面粗糙度介于约200至300微英寸间的抛光表面。
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