[发明专利]用于干涉式测量装置的动态空气湍流补偿

摘要

一种用于提供距离可动物体的距离测量值的干涉式测量装置。源于温度波动的空气湍流在所述干涉式测量值中感生出噪声，因为空气的折射率被改变。产生补偿值来补偿所述温度感生噪声。为此，所述测量装置包括声学系统，其在所述可动物体和参考物体之间传输声波脉冲，并在接收到发射的脉冲后，输出飞行时间值。在多个插值的干涉式距离测量值的基础上估算与每个飞行时间值关联的路径长度。补偿系统产生从至少一个飞行时间值及其关联的多个干涉式距离测量值推算出的补偿值。

主权项

1.一种测量装置，包括：激光测量系统，其提供可动物体相对于参考物体的激光测量值；用于提供机器反馈控制信号的装置，用于控制所述可动物体相对于所述参考物体的移动；声学系统，其在所述可动物体和所述参考物体之间传输声波，并输出指示声波在所述可动物体和所述参考物体之间行进的飞行时间的飞行时间值；补偿系统，其使用所述声学系统的输出来补偿所述激光测量值，以产生补偿后的激光测量值，其中所述激光测量值的产生速率大于所述飞行时间值的产生速率，并且所述机器反馈控制信号的更新速率大于所述飞行时间值的产生速率，其特征在于，所述补偿系统利用从多个激光测量值和至少一个飞行时间值推算的补偿值来产生每个补偿后的激光测量值。