[发明专利]包括高填充率硅空间光调制器的投影显示系统有效
| 申请号： | 200680040298.2 | 申请日： | 2006-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN101297228A | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 杨晓;王宇翔;乌克·吉;贾斯廷·艾伦·佩恩;王叶;威廉·斯潘塞·沃利三世;陈东敏;霍华德·沃 | 申请（专利权）人： | 明锐有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;H01L21/66;B81B7/04;H04N5/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种显示系统包括光源和第一光学系统，所述第一光学系统光耦合到所述光源，并且适于沿着照明路径而提供照明光束。所述显示系统还包括位于所述照明路径中的空间光调制器。所述空间光调制器包括半导体基底和铰链结构，所述半导体基底包括多个电极器件，所述铰链结构耦接到所述半导体基底。所述铰链结构包括硅材料。所述空间光调制器还包括镜柱和镜板，所述镜柱耦接到所述铰链结构，并且延伸到离半导体基底预定距离的位置，所述镜板耦接到所述镜柱，并且覆盖所述多个电极器件。所述显示系统还包括第二光学系统，其光耦合到所述空间光调制器，并且适于将图像投影到投影表面上。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 填充 空间 调制器 投影 显示 系统 | ||
【主权项】：
1.一种显示系统，包括：光源；第一光学系统，其光耦合到所述光源，并且适于沿着照明路径提供照明光束；位于所述照明路径中的空间光调制器，所述空间光调制器包括：半导体基底，其包括多个电极器件；铰链结构，其耦接到所述半导体基底，其中，所述铰链结构包括硅材料；镜柱，其耦接到所述铰链结构，并且延伸到离所述半导体基底预定距离的位置；以及镜板，其耦接到所述镜柱，并且覆盖所述多个电极器件；以及第二光学系统，其光耦合到所述空间光调制器，并且适于将图像投影到投影表面上。
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